Hurtige målinger af materialestrukturer i produktionen

Ny metode giver robuste og hurtige målinger af materialestrukturer i produktionen. Det er bl.a. til gavn for mindre virksomheder.

Forskere ved GTS-instituttet DFM har udviklet billeddannende skatterometri til karakterisering af nanostrukturerede overflader med synligt lys. Med den nye metode kan strukturerede områder på flere cm2 karakteriseres lokalt med en nøjagtighed på få nanometer.

Billeddannende skatterometri har store anvendelsesmuligheder indenfor bl.a. halvlederindustrien, hvor krav om hurtige og fleksible målinger hele tiden er i fokus.

100 gange hurtigere end konventionelle karakteriseringsteknikker

Billeddannende skatterometri er op til 100 gange hurtigere end konventionelle karakteriseringsteknikker (fx atomar kraft mikroskopi (AFM) og elektronmikroskopi) uden at gå på kompromis med nøjagtigheden eller brugervenligheden. Derudover har DFM for nyligt demonstreret, at teknikken også kan anvendes på sprøjtestøbte emner med mikro/nano-strukturerede overflader.

Michael Kjær, adm. direktør, DFM udtaler:

– Vi har store forventninger til den nye metode, og der har allerede været interesse fra flere virksomheder, der kan se potentialet i hurtige og robuste målinger direkte i produktionen”.

Morten Hannibal Madsen, forsker ved DFM siger endvidere, at:

– Skatterometri har været med til at revolutionere halvlederindustrien. Med billeddannende skatterometri bliver det nu også muligt for mindre virksomheder og forskningslaboratorier at få udbytte af teknikken”.

Hvad er Skatterometri?

Det grundlæggende princip i skatterometri er, at man måler intensiteten af det spredte lys fra et gitter. Målingerne sammenholdes med computersimulerede spredningsintensiteter ved brug af en invers modelleringsteknik. Denne sammenligning tager kun få millisekunder på en almindelig computer, og gør derfor skatterometri interessant for alle, der massefremstiller nano-strukturerede overflader. Skatterometri er indtil videre begrænset til at karakterisere gitre.

Læs mere om Skatterometri på DFM’s hjemmeside – se nederst på den henviste side